amcMaxFlow

amcMaxFlow 滤芯除有高清洁度与高颗粒截留率的功能外,其超大面积设计,使滤芯更具备超高流率的特性,适合半导体生产清洗水和溶剂过滤,光抗蚀剂过滤,7代和8代的TFT-LCD玻璃基板清洗,湿式制程,大流量DI去离子水和高端工艺过滤应用。

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        

优异表现

  • 超高流量设计,可应用在新一代半导体电子业及LCD制程上,操作流量可达200L/min以上
  • 极佳抗化性,适用于光电、半导体产业、纯水过滤系统、基板清洗、蚀刻、剥离和去离子水冲洗等制程中
  • 表面不添加任何表面活性剂,有效降低滤芯清洗时间
  • 紧凑的设计减少滤芯的更换,从而减少设备的停机时间                                    
 
构成材质
滤材: amcMaxFlow PES: 单层折叠amcAccupor改良型聚醚砜膜                                                              
amcMaxFlow PES-A: 单层折叠超高流量聚醚砜膜                                                           
amcMaxFlow PP: 单层或多层折叠深层聚丙烯                                          
amcMaxFlow PTFE: 单层无支撑折叠疏水性聚四氟乙烯膜                                                          
支撑层: 聚丙烯
骨架及端盖: 聚丙烯
焊接技术: 热熔
 
尺寸
长度: 10 inch (27.0 cm)
直径: 132 mm
 
过滤精度 amcMaxFlow PES: 0.03, 0.1, 0.2, 0.45, 1.2 μm
amcMaxFlow PES-A: 0.03, 0.1, 0.2, 0.45, 1.2 μm
amcMaxFlow PP: 0.2, 0.45, 1, 3, 5, 10, 30, 60 μm
amcMaxFlow PTFE: 0.05, 0.1, 0.2, 0.45, 1, 5 μm
有效过滤面积 amcMaxFlow PES: 3.2 m²/10 inch
amcMaxFlow PES-A: 3.2 m²/10 inch
amcMaxFlow PP: >1.8 m²/10 inch
amcMaxFlow PTFE: 3.3 m²/10 inch
 
最大操作温度 80°C at 30 psi (2.1 bar)
 
最大操作压差 60 psi (4.1 bar) 室温
 
18兆欧电导回复率 ≤120 升/10英寸(在流速1升/分钟条件下)
 
清洁度
amcMaxFlow PES: <5颗/毫升(使用流速为5升/分钟超纯水冲洗15分钟后检测大于0.2微米粒子数)
amcamcMaxFlow PES-A: <5颗/毫升(使用流速为5升/分钟超纯水冲洗15分钟后检测大于0.2微米粒子数)
amcMaxFlow PTFE: <10颗/100毫升(酒精润湿后使用流速为5升/分钟超纯水冲洗,冲洗量为150升后检测大于0.5微米粒子数)
 
截留率
amcMaxFlow PES: 0.03 μm: >99.9%(使用0.055微米PSL颗粒)
0.1 μm: >99.999%(使用0.198微米PSL颗粒)
0.2 μm: >99.999%(使用0.460微米PSL颗粒)
0.45 μm: >99.9%(使用0.830微米PSL颗粒)
1.2 μm: >99.99%(使用2.0微米PSL颗粒)
amcMaxFlow PES-A: 0.03 μm: >99.9%(使用0.055微米PSL颗粒)
0.1 μm: >99.999%(使用0.198微米PSL颗粒)
0.2 μm: >99.999%(使用0.460微米PSL颗粒)
0.45 μm: >99.9%(使用0.830微米PSL颗粒)
1.2 μm: >99.99%(使用2.0微米PSL颗粒)
amcMaxFlow PP: 0.2 μm: >99%(使用0.3微米AC微颗粒)
0.45 μm: >99%(使用0.6微米AC微颗粒)
1 μm: >99%(使用1.5微米AC微颗粒)
3 μm: >99%(使用5微米AC微颗粒)
5 μm: >99%(使用5微米AC微颗粒)
10 μm: >99%(使用15微米AC微颗粒)
30 μm: >99%(使用40微米AC微颗粒)
60 μm: >99%(使用70微米AC微颗粒)
 
接口类型:334/Flat

典型水流量(10英寸)*

采购信息

amcMaxFlow PES         M F S   F ◆ ▲

amcMaxFlow PES-A      M F A   F ◆ ▲

amcMaxFlow PP           M F P   F ◆ ▲

amcMaxFlow PTFE        M F T   F ◆ ▲

■  孔径 PES 03 0.03 μm
  10 0.1 μm
  20 0.2 μm
  45 0.45 μm
  12 1.2 μm
PES-A 03 0.03 μm
  10 0.1 μm
  20 0.2 μm
  45 0.45 μm
  12 1.2 μm
PP 92 0.2 μm
  94 0.45 μm
  01 1 μm
  03 3 μm
  05 5 μm
  10 10 μm
  30 30 μm
  60 60 μm
PTFE 50 0.05 μm
  10 0.1 μm
  20 0.2 μm
  45 0.45 μm
  01 1 μm
  05 5 μm
 
◆ 长度 1 10 inch (27.0 cm)
 
▲ 密封圈 S Silicone(硅橡胶)
V Viton(氟橡胶)
E Ethylene Propylene(乙丙橡胶)
F FEP Encapsulated(聚四氟包裹)